
产品简介
全自动晶圆光电测试系统WIT-220AL综合考虑稳定性、电噪声处理、空间布局等设计要求,采用精密运动控制系统,高性能隔振系统,结合自主研发图像软件算法,实现高稳定性小模斑芯片光性能和高精度电性能测试,支持全自动晶圆光栅耦合或者端面耦合测试,能够满足高精密光测试指标以及电信号测量应用需求。可提前在晶圆级别筛选不良芯片,防止流入后端工艺,大幅度节约整体封测成本,提高生产效率。
全自动晶圆光电测试系统WIT-220AL综合考虑稳定性、电噪声处理、空间布局等设计要求,采用精密运动控制系统,高性能隔振系统,结合自主研发图像软件算法,实现高稳定性小模斑芯片光性能和高精度电性能测试,支持全自动晶圆光栅耦合或者端面耦合测试,能够满足高精密光测试指标以及电信号测量应用需求。可提前在晶圆级别筛选不良芯片,防止流入后端工艺,大幅度节约整体封测成本,提高生产效率。目前已批量在国内外客户产线量产应用。
产品特点
机器视觉全自动校准
探针/探针卡自动压接
支持快速自动找光
支持任意小模斑芯片GC/EC测试产品应用
晶圆尺寸2~12inch可定制
温度范围-40℃~125℃(支持定制更宽范围)
自动上下料、自动缺陷检测等
可选端到端测试解决方案服务
主要应用
该系统主要面向硅光、薄膜铌酸锂、III-V族晶圆等领域,支持OO、OE、EE测试;光测试兼容SMF、Lens Fiber、FA多种形态;电测试兼容探针座或探针卡,满足研发及量产多种应用场景测试需求。
参数
基本参数 | |
晶圆尺寸 | 2~12inch可定制,分区设计 |
上料方式 | 自动 |
上料类型 | Cassette/FOUP |
测试数量 | 25~50pcs/次 |
Wafer-ID | OCR自动识别Wafer-ID,生成Wafer Map图 |
辅助Chuck | 实现自动清针、RF校准、FA校准、PD功率/偏振校准等 |
单针打标 | √ |
自清洁 | √(用于清洁晶圆、Chuck、探针、FA) |
实时探高 | √ |
Chuck高度校准 | √ |
Chuck定位精度 | ±2μm |
温度范围 | -40℃~125℃(支持更宽温度范围定制) |
光性能参数 | |
光纤类型 | SMFLens fiberFA |
耦光重复性 | ≤0.3dB(典型值) |
耦合稳定性 | 0.3dB/5mins(典型值) |
耦合效率 | ≤2s |
耦合方式 | 螺旋耦合/十字耦合/矩阵耦合/快速3D等 |
入射角扫描 | √ |
Sensor防撞 | √ |
电性能参数 | |
集成探针个数 | 支持定制 |
加电类型 | DC/RF |
加电方式 | 探针/探针卡 |
探针类型 | 悬臂针/垂直针 |
清针类型 | 自动 |
软件 | |
权限管理 | 区分研发/生产不同角色管理权限 |
可执行脚本 | 支持用户用python或其他语言自己编写测试算法逻辑 |
国际化 | 支持英文、简体中文、繁体中文 |
数据存储 | 支持MES系统衔接、数据库存储等 |
图形化界面 | 支持工艺参数实时监控与历史数据追溯 |
备注:可更换移动平台以实现更高精度测试。
扫码加关注,了解最新动态

Copyright © 2026 武汉东隆科技有限公司版权所有
技术支持:化工仪器网 管理登录 备案号:鄂ICP备11017648号-3 sitemap.xml
激光控制设备及气室
激光器
荧光光谱仪&拉曼光谱仪
激光功率、光斑光束测量仪
单光子计数
公司简介
企业文化
荣誉资质
联系我们